仪器名称:场发射扫描电子显微镜

国别厂家:日立公司

仪器型号:SU8010

主要规格及技术指标:

1.电子光学系统:
1.1分辨率： 二次电子像：1.0 nm / 15kV， 1.3 nm / 1kV ；
1.2放大倍率：20-800,000倍；
1.3 加速电压：加速电压：0.5kV ～ 30 kV；
1.4 具有超低电压能力设计或者减速功能；
1.5 电子枪：场发射电子枪；
1.6 工作距离:2-40mm, 能谱仪分析工作距离可近到15mm以下；
2.样品室及样品台:
  2.1  样品台：单样品台，五孔样品台，多用途样品台；
  2.2 五轴全自动马达样品台；
  2.3  样品台移动最大范围指标：50mm（X方向），50mm（Y方向），1.5-30mm（Z方向），-5-70°（倾斜），360°（旋转）；；
  2.4  最大放样直径：≥100mm；
  2.5 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板；
3.探测器：
3.1样品室二次电子探测器；
3.2 In-lens镜筒内二次电子探测器，
3.3 样品室红外CCD相机；
3.4 能够同时获得二次电子像和背散射电子图像。

主要功能及应用范围:

场发射扫描电子显微镜（FESEM）具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。